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描述 |
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8713 型質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現極高速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備卓越的控制特性。8713 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設備的通信完全采用數字形式,這樣一來,就可以省去額外的數模轉換。8713 型質量流量控制器適合多樣化應用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。 |
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特性 |
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« 標稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min |
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« 測量精度和重復性高 |
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« 調控速度特別快 |
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« 通過 RS485 進行數字通信 |
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« 緊湊型版本 |
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